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硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范

国家标准
标准编号:GB/T 32814-2016 标准状态:现行
标准价格:31.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了采用SOI硅片进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。本标准适用于硅基MEMS制造技术中基于SOI硅片的MEMS器件的加工和质量检验。
英文名称:  Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the SOI wafer based MEMS process
什么是中标分类? 中标分类:  电子元器件与信息技术>>微电路>>L55微电路综合
什么是ICS分类?  ICS分类:  电子学>>31.200集成电路、微电子学
发布部门:  中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期:  2016-08-29
实施日期:  2017-03-01
复审日期:  2023-12-28
提出单位:  全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
什么是归口单位? 归口单位:  全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
起草单位:  西北工业大学、中机生产力促进中心
起草人:  苑伟政、谢建兵、李海斌、乔大勇、马志波、常洪龙、刘伟
页数:  16页
出版社:  中国标准出版社
出版日期:  2017-03-01
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