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| 英文名称： |
Micro electromechanical system technology—Test method for thenonlinear vibration of the MEMS resonant sensitive element |
 中标分类： |
电子元器件与信息技术>>微电路>>L55微电路综合 |
| ICS分类： |
电子学>>31.200集成电路、微电子学 |
| 发布部门： |
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2017-11-01 |
| 实施日期： |
2018-05-01
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| 提出单位： |
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) |
| 归口单位： |
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) |
| 起草单位： |
北京遥测技术研究所、中机生产力促进中心 |
| 起草人： |
李庆丰、金小锋、李海斌、朱悦、程红兵 |
| 页数： |
16页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |