GB/T 16595-1996 晶片通用网格规范国家标准(GB)-工标网

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标准简介

本标准规定了可用于定量描述公称圆形半导体晶片表面缺陷的网格图形。


英文名称：	Specification for a universal wafer grid
标准状态：	已作废
替代情况：	被GB/T 16595-2019代替
中标分类：	冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法
ICS分类：	电气工程>>29.045半导体材料
采标情况：	＝SEMI M17-90
发布部门：	国家技术监督局
发布日期：	1996-01-01
实施日期：	1997-04-01
作废日期：	2020-02-01
首发日期：	1996-11-04
复审日期：	2004-10-14
归口单位：	全国半导体材料和设备标准化技术委员会
主管部门：	国家标准化管理委员会
起草单位：	中国有色金属工业总公司
页数：	平装16开，页数：7，字数：10千字
出版社：	中国标准出版社
出版日期：	1997-04-01
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