掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程 |
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| 标准编号：GB/T 13389-1992 |
标准状态：已作废 |
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| 标准价格：31.0 元 |
客户评分：  |
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本标准规定了23℃时掺硼掺磷硅单晶电阻率和掺杂剂浓度间的换算方法。本标准适用于掺杂剂浓度1012～1021cm-3(电阻率0.0001~10，000Ω·cm)掺硼硅单晶和1012~5×1020cm-3(电阻率0.0002~4,000Ω·cm)掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度的换算，也可扩展到硅中激活能与硼、磷相似的其他掺杂剂。 |
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| 英文名称： |
Practice for conversion between resistivity and dopant density for boron-doped and phosphorus-doped silicon |
| 标准状态： |
已作废 |
 替代情况： |
被GB/T 13389-2014代替 |
| 中标分类： |
冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法 |
| ICS分类： |
29.040.30 |
| UDC分类： |
669.782-172-415;621.317.33(083.5) |
| 采标情况： |
＝ASTM F723 |
| 发布部门： |
国家技术监督局 |
| 发布日期： |
1992-02-19 |
| 实施日期： |
1992-10-01
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| 作废日期： |
2015-09-01
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| 首发日期： |
1992-02-19 |
| 复审日期： |
2004-10-14 |
| 提出单位： |
中国有色金属工业总公司 |
| 归口单位： |
全国半导体材料和设备标准化技术委员会 |
| 主管部门： |
国家标准化管理委员会 |
| 起草单位： |
峨嵋半导体材料研究所 |
| 起草人： |
过惠芬、陈永同、吴道荣 |
| 页数： |
平装16开， 页数：19， 字数：34000 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 出版日期： |
1992-10-01 |
| 标准前页： |
浏览标准前文 || 下载标准前页 |
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