硅多晶 |
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| 标准编号：GB/T 12963-1996 |
标准状态：已作废 |
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| 标准价格：8.0 元 |
客户评分：  |
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本标准规定了硅多晶的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存。本标准适用于以三氯氢硅或四氯化硅用氢还原法制得的半导体级硅多晶。产品主要用于制备硅单晶。 |
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| 英文名称： |
Polycrystalline silicon |
| 标准状态： |
已作废 |
 替代情况： |
替代GB 12963-1991;被GB/T 12963-2009代替 |
| 中标分类： |
冶金>>半金属与半导体材料>>H82元素半导体材料 |
| ICS分类： |
电气工程>>29.045半导体材料 |
| 采标情况： |
＝SEMI M16-89 |
| 发布部门： |
国家技术监督局 |
| 发布日期： |
1996-01-01 |
| 实施日期： |
1997-04-01
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| 作废日期： |
2010-06-01
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| 首发日期： |
1991-06-04 |
| 复审日期： |
2004-10-14 |
| 提出单位： |
中国有色金属工业总公司 |
| 归口单位： |
全国半导体材料和设备标准化技术委员会 |
| 主管部门： |
国家标准化管理委员会 |
| 起草单位： |
峨嵋半导体材料厂 |
| 起草人： |
王鸿高、尹建华、刘文魁、吴福立 |
| 页数： |
平装16开， 页数：6， 字数：6千字 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 出版日期： |
1997-04-01 |
| 标准前页： |
浏览标准前文 || 下载标准前页 |
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