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英文名称: |
Electronic-grade polycrystalline silicon |
替代情况: |
替代GB/T 12963-2014 |
中标分类: |
冶金>>半金属与半导体材料>>H82元素半导体材料 |
ICS分类: |
电气工程>>29.045半导体材料 |
发布部门: |
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 |
发布日期: |
2022-12-30 |
实施日期: |
2023-07-01
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提出单位: |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2) |
归口单位: |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2) |
起草单位: |
江苏鑫华半导体科技股份有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、有研半导体硅材料股份公司、麦斯克电子材料股份有限公司、亚洲硅业(青海)股份有限公司等 |
起草人: |
田新、蒋文武、赵培芝、万首正、李素青、秦榕、王彬、孙燕、贺东江、陈卫群、宗冰、徐岩、邱艳梅、李斌、刘晓霞、张遵、付绪光、董先君、潘金平、张园园、雷聪 |
页数: |
12页 |
出版社: |
中国标准出版社 |