电子工业用气体 六氟化硫 |
 |
| 标准编号：GB/T 18867-2002 |
标准状态：已作废 |
|
| 标准价格：24.0 元 |
客户评分：  |
|
|
本标准有现货可当天发货一线城市最快隔天可到！ |
|
|
|
|
|
|
本标准规定了电子工业用气体六氟化硫产品的技术要求、分析方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于硫与氟反应生成经精制和纯化制备的高纯度六氟化硫。该产品主要用作等离子蚀刻剂、掺杂剂、电子器件的外延气或稀释载气等。 |
|
|
|
| 英文名称： |
Gases for electronic industry--Sulfur hexafluoride |
| 标准状态： |
已作废 |
 替代情况： |
被GB/T 18867-2014代替 |
| 中标分类： |
化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体 |
| ICS分类： |
化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体 |
| 采标情况： |
NEQ SEMI C3.24:1995 |
| 发布部门： |
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 |
| 发布日期： |
2002-10-15 |
| 实施日期： |
2003-04-01
|
| 作废日期： |
2015-07-01
|
| 首发日期： |
2002-10-15 |
| 复审日期： |
2004-10-14 |
| 提出单位： |
原国家石油和化学工业局 |
| 归口单位： |
全国半导体材料和设备标准化技术委员会 |
| 主管部门： |
国家标准化管理委员会 |
| 起草单位： |
中核红华特种气体股份有限公司 |
| 起草人： |
杜伟华、张奎、贺国武、张军、何道善 |
| 页数： |
平装16开， 页数：9， 字数：16千字 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 书号： |
155066.1-19213 |
| 出版日期： |
2003-04-01 |
| 标准前页： |
浏览标准前文 || 下载标准前页 |
|
|
|
|
| |
|
客服中心 |
| 有问题？找在线客服 |
 |
|
|
|
|
温馨提示：标准更新替换较快，请注意您购买的标准时效性。 |
|
|
|
|
| 必备软件下载 |
| Adobe Acrobat Reader 是一个查看、
阅读和打印PDF文件的最佳工具，通
过它可以查阅本站的标准文档 |
 |
|
|
|