电子工业用气体 高纯氯 |
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| 标准编号：GB/T 18994-2003 |
标准状态：已作废 |
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| 标准价格：24.0 元 |
客户评分：  |
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本标准规定了电子工业用气体高纯氯产品的技术要求、试验方法、检验以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于以工业液氯为原料，采用物理吸附等过程生产的高纯氯产品。该产品主要用于大规模集成电路、光导纤维、高温超导、铝加工等高新技术领域。 |
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| 英文名称： |
Gases for electronic industry—High purity chlorine |
| 标准状态： |
已作废 |
 替代情况： |
被GB/T 18994-2014代替 |
| 中标分类： |
化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体 |
| ICS分类： |
化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体 |
| 采标情况： |
SEMI C3.32-1995,NEQ |
| 发布部门： |
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 |
| 发布日期： |
2003-03-05 |
| 实施日期： |
2003-08-01
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| 作废日期： |
2015-07-01
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| 首发日期： |
2003-03-05 |
| 复审日期： |
2004-10-14 |
| 提出单位： |
原化学工业部 |
| 归口单位： |
全国半导体材料和设备标准化技术委员会 |
| 主管部门： |
国家标准化管理委员会 |
| 起草单位： |
光明化工研究设计院 |
| 起草人： |
孔祥芝、佘中玉 |
| 页数： |
平装16开， 页数：7， 字数：13千字 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 书号： |
155066.1-19715 |
| 出版日期： |
2003-08-01 |
| 标准前页： |
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