|
| 英文名称： |
Gases for electronic industry—Arsine |
 中标分类： |
化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体 |
| ICS分类： |
化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体 |
| 发布部门： |
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2011-01-14 |
| 实施日期： |
2011-05-01
|
| 首发日期： |
2011-01-14 |
| 提出单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
| 归口单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会(SAC/TC 203/SC 1) |
| 主管部门： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会(SAC/TC 203/SC 1) |
| 起草单位： |
西南化工研究设计院、上海华爱色谱分析技术有限公司、光明化工研究设计院 |
| 起草人： |
孙福楠、方华、周鹏云、庄鸿涛、李建浩 |
| 页数： |
12页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 出版日期： |
2011-05-01 |