GB/T 16524-1996 光掩模对准标记规范国家标准(GB)-工标网

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标准简介

本规范规定了所有光掩模上使用的对准标记的形状、尺寸范围和一般位置。本规范适用于光掩模。


英文名称：	Specification for registration marks for photomasks
中标分类：	电子元器件与信息技术>>电子工业生产设备>>L95电子工业生产设备综合
ICS分类：	电子学>>31.200集成电路、微电子学
采标情况：	＝SEMI P6-88
发布部门：	国家技术监督局
发布日期：	1996-09-09
实施日期：	1997-05-01
首发日期：	1996-09-09
复审日期：	2004-10-14
归口单位：	全国半导体材料和设备标准化技术委员会
主管部门：	国家标准化管理委员会
起草单位：	中国科学院微电子中心
页数：	平装16开，页数：6，字数：6千字
出版社：	中国标准出版社
书号：	155066.1-13684
出版日期：	2004-04-10
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