|
| 英文名称： |
Equipment for preparation of nitride semiconductor materials by hydride vapor phase epitaxy |
 中标分类： |
电子元器件与信息技术>>电子工业生产设备>>L95电子工业生产设备综合 |
| ICS分类： |
电子学>>31.220电子电信设备用机电零部件 |
| 发布部门： |
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2018-09-17 |
| 实施日期： |
2019-01-01
|
| 提出单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
| 归口单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
| 主管部门： |
全国信息技术标准化技术委员会(SAC/TC 28) |
| 起草单位： |
东莞市中镓半导体科技有限公司、中国电子技术标准化研究院 |
| 起草人： |
刘鹏、孙永健、丁晓民、冯亚彬、王健辉 |
| 页数： |
20页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 出版日期： |
2018-09-01 |