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三维集成电路 第2部分:微间距叠层芯片的校准要求

国家标准
标准编号:GB/T 43536.2-2023 标准状态:现行
标准价格:36.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本文件规定了在芯片键合过程中使用多个叠层集成电路之间初始校准和校准保持的要求。定义了校准标记和操作步骤。本文件只适用于使用电耦合方法进行的芯片间校准。
英文名称:  Three dimensional integrated circuits—Part 2:Alignment of stacked dies having fine pitch interconnect
什么是中标分类? 中标分类:  电子元器件与信息技术>>微电路>>L56半导体集成电路
什么是ICS分类?  ICS分类:  电子学>>31.200集成电路、微电子学
什么是采标情况? 采标情况:  IEC 63011-2:2018
发布部门:  国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期:  2023-12-28
实施日期:  2024-04-01
提出单位:  中华人民共和国工业和信息化部
什么是归口单位? 归口单位:  全国半导体器件标准化技术委员会(SAC/TC 78)
起草单位:  中国电子技术标准化研究院、华进半导体封装先导技术研发中心有限公司、中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所、青岛智腾微电子有限公司、珠海越亚半导体股份有限公司
起草人:  汤朔 李锟 肖克来提 吴道伟 刘欣 陈先明
页数:  16页【彩图】
出版社:  中国标准出版社
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