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英文名称: |
Specification for order entry format of silicon wafers |
中标分类: |
冶金>>半金属与半导体材料>>H80半金属与半导体材料综合 |
ICS分类: |
电气工程>>29.045半导体材料 |
发布部门: |
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
发布日期: |
2015-12-10 |
实施日期: |
2017-01-01
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提出单位: |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2) |
归口单位: |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2) |
起草单位: |
万向硅峰电子股份有限公司、浙江省硅材料质量检验中心、杭州海纳半导体有限公司、南京国盛电子有限公司、有研新材料股份有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、江苏协鑫硅材料科技发展有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所 |
起草人: |
朱兴萍、楼春兰、戴文仙、毛卫中、赵纪平、王飞尧、马林宝、孙燕、李慎重、林清香、杨素心、邹剑秋 |
页数: |
20页 |
出版社: |
中国标准出版社 |
出版日期: |
2017-01-01 |