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英文名称: |
General specification for epitaxial wafers and substrates based on gallium nitride |
中标分类: |
冶金>>半金属与半导体材料>>H83化合物半导体材料 |
ICS分类: |
电气工程>>29.045半导体材料 |
发布部门: |
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 |
发布日期: |
2018-12-28 |
实施日期: |
2019-07-09
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提出单位: |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2) |
归口单位: |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2) |
起草单位: |
东莞市中镓半导体科技有限公司、合肥彩虹蓝光科技有限公司、苏州纳维科技有限公司、南京大学电子科学与工程学院、中国电子技术标准化研究院 |
起草人: |
丁晓民、刘南柳、潘尧波、徐科、修向前、孙永健、王香、张国义 |
页数: |
16页 |
出版社: |
中国标准出版社 |