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| 英文名称： |
Electronic grade tetramethylsilane |
| 标准状态： |
即将实施 |
 中标分类： |
电子元器件与信息技术>>电子设备专用材料、零件、结构件>>L90电子技术专用材料 |
| ICS分类： |
31.030 |
| 发布部门： |
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2025-10-31 |
| 实施日期： |
2026-05-01
即将实施 距离实施日期还有11天 |
| 提出单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
| 归口单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
| 起草单位： |
南大光电半导体材料有限公司、苏州实验室、中国电子技术标准化研究院、江苏南大光电材料股份有限公司、广州赛西标准检测研究院有限公司、长江存储科技有限责任公司、上海市计量测试技术研究院、中芯国际集成电路制造(北京)有限公司、洛阳中硅高科技有限公司等 |
| 起草人： |
陈德义、徐文涛、曹可慰、茅炳荣、史泽远、陈功锋、张汝志、马瑞、孙明璐、李春华、孙鹏、张婷、赵俊莎、张健、鲁铮、李雪、高周、吴怡然、万烨、郝萍、郭威、魏良杰、毛国玉、汪晨、栗广奉、刘见华、刘立伟、张宝帅、孙丽丽、赵斌、曹益宁、陆平、张鹏、彭元兵、许胜霞等 |
| 页数： |
20页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |