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英文名称: |
Micro-electromechanical system technology—Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration |
中标分类: |
电子元器件与信息技术>>微电路>>L55微电路综合 |
ICS分类: |
电子学>>31.200集成电路、微电子学 |
发布部门: |
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 |
发布日期: |
2020-03-06 |
实施日期: |
2020-07-01
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提出单位: |
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) |
归口单位: |
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) |
起草单位: |
北京大学、中机生产力促进中心、北京智芯传感科技有限公司、沈阳国仪检测技术有限公司、浙江博亚精密机械有限公司、中北大学、北京必创科技股份有限公司 |
起草人: |
张威、张亚婷、于振毅、陆学贵、朱悦、石云波、李海斌、程逸轩、周浩楠、陈得民 |
页数: |
20页 |
出版社: |
中国标准出版社 |
出版日期: |
2020-03-01 |