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微机电系统(MEMS)技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法

国家标准
标准编号:GB/T 38446-2020 标准状态:现行
标准价格:31.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了带状薄膜抗拉性能的试验方法及数据处理。本标准适用于厚度在50 nm到数微米之间且长度和厚度的比值大于300的样品,也可用于MEMS产品带状薄膜结构的质量监控。
英文名称:  Micro-electromechanical system technology—Test methods for tensile property measurement of strip thin films
什么是中标分类? 中标分类:  电子元器件与信息技术>>微电路>>L55微电路综合
什么是ICS分类?  ICS分类:  电子学>>31.200集成电路、微电子学
发布部门:  国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期:  2020-03-06
实施日期:  2020-10-01
提出单位:  全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
什么是归口单位? 归口单位:  全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
起草单位:  北京大学、中机生产力促进中心、北京智芯传感科技有限公司、无锡华润上华科技有限公司、中北大学、北京必创科技股份有限公司
起草人:  张威、李海斌、张亚婷、朱悦、夏长奉、石云波、陈得民、马书嫏、程红兵、周浩楠
页数:  16页
出版社:  中国标准出版社
出版日期:  2020-02-01
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