|
英文名称: |
Micro-electromechanical system technology—Test methods for tensile property measurement of strip thin films |
中标分类: |
电子元器件与信息技术>>微电路>>L55微电路综合 |
ICS分类: |
电子学>>31.200集成电路、微电子学 |
发布部门: |
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 |
发布日期: |
2020-03-06 |
实施日期: |
2020-10-01
|
提出单位: |
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) |
归口单位: |
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) |
起草单位: |
北京大学、中机生产力促进中心、北京智芯传感科技有限公司、无锡华润上华科技有限公司、中北大学、北京必创科技股份有限公司 |
起草人: |
张威、李海斌、张亚婷、朱悦、夏长奉、石云波、陈得民、马书嫏、程红兵、周浩楠 |
页数: |
16页 |
出版社: |
中国标准出版社 |
出版日期: |
2020-02-01 |