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英文名称: |
Test method for boron content in polycrystalline silicon by vacuum zone-melting method |
替代情况: |
替代GB/T 4060-2007 |
中标分类: |
冶金>>金属化学分析方法>>H17半金属及半导体材料分析方法 |
ICS分类: |
冶金>>77.040金属材料试验 |
发布部门: |
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 |
发布日期: |
2018-09-17 |
实施日期: |
2019-06-01
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提出单位: |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2) |
归口单位: |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2) |
主管部门: |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/T |
起草单位: |
江苏中能硅业科技发展有限公司、亚洲硅业(青海)有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、峨嵋半导体材料研究所 |
起草人: |
胡伟、刘晓霞、耿全荣、鲁文锋、王桃霞、胡自强、宗冰、肖建忠、万烨、杨旭 |
页数: |
12页 |
出版社: |
中国标准出版社 |
出版日期: |
2018-09-01 |