SJ 2595-1985 高纯四氯化硅中痕量磷的分光光度比色测试方法电子行业标准(SJ)-工标网

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标准简介

本方法适用于生长半导体器件及电路用硅外延片、多晶硅和光通讯器件用光纤予制件的高纯四氯化硅中磷含量的测试方法。


英文名称：	Method for the analysis of trace phosphorous in pure SiC14-Method spectrophotometry
标准状态：	已废止
替代情况：	公告：中华人民共和国工业和信息化部公告 2024年第17号
中标分类：	综合>>标准化管理与一般规定>>A01技术管理
发布日期：	1985-07-31
实施日期：	1984-01-01
作废日期：	2024-07-11
复审日期：	2024-07-11
页数：	8页
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