GB/T 1554-1995 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法国家标准(GB)-工标网

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标准简介

本标准规定了用择优腐蚀技术检验硅晶体完整性的方法。


英文名称：	Test method for crystallographic perfection of silicon by preferential etch techniques
标准状态：	已作废
替代情况：	GB 1554-1979;GB 4057-1983;被GB/T 1554-2009代替
中标分类：	冶金>>金属理化性能试验方法>>H26金属无损检验方法
ICS分类：	冶金>>金属材料试验>>77.040.30金属材料化学分析
UDC分类：	669.782;621.193.4
采标情况：	＝ASTM F47-88
发布部门：	国家技术监督局
发布日期：	1995-04-18
实施日期：	1995-12-01
作废日期：	2010-06-01
首发日期：	1979-05-26
复审日期：	2004-10-14
归口单位：	全国半导体材料和设备标准化技术委员会
主管部门：	国家标准化管理委员会
起草单位：	峨嵋半导体材料厂
页数：	平装16开，页数：12，字数：20千字
出版社：	中国标准出版社
出版日期：	1995-12-01
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