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物理气相沉积TiN薄膜技术条件

国家标准
标准编号:GB/T 18682-2002 标准状态:现行
标准价格:49.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了物理气相沉积TiN薄膜的技术要求。本标准适用于物理气相沉积TiN薄膜,也适用于其他方法制备的TiN薄膜。本标准也适用于其他材料沉积层(TiC,TiCN,TiAlN等)。
英文名称:  Specifications of physical vapour deposition TiN films
什么是中标分类? 中标分类:  综合>>基础标准>>A29材料防护
什么是ICS分类?  ICS分类:  机械制造>>表面处理和涂覆>>25.220.20表面处理
发布部门:  中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
发布日期:  2002-03-10
实施日期:  2002-08-01
首发日期:  2002-03-10
复审日期:  2023-12-28
提出单位:  中国机械工业联合会
什么是归口单位? 归口单位:  全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会
主管部门:  中国机械工业联合会
起草单位:  武汉材料保护研究所
起草人:  凌国伟、李健、倪瀚、黄济群
页数:  平装16开, 页数:23, 字数:39千字
出版社:  中国标准出版社
书号:  155066.1-28611
出版日期:  2002-08-01
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