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掺氮吸气剂钡膜分布测试方法

国家标准
标准编号:GB 9506.6-1988 标准状态:已作废
标准价格:8.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了掺氮吸气剂钡膜分布测试方法,适用于测定沉积在模拟玻壳颈、锥、屏上钡膜的重量分布和锥、屏上钡膜的厚度分布。测试方法应符合GB 9506.1《吸气剂性能测试方法通则》中的有关规定。
英文名称:  Test method for barium film distribution of nitrogen-doped getter
标准状态:  已作废
什么是替代情况? 替代情况:  SJ 2162-1982;被GB/T 25495-2010代替
什么是中标分类? 中标分类:  电子元器件与信息技术>>电子设备专用材料、零件、结构件>>L90电子技术专用材料
什么是ICS分类?  ICS分类:  31.030
发布部门:  国家标准化管理委员会
发布日期:  1988-06-25
实施日期:  1988-01-02
作废日期:  2011-05-01
首发日期:  1988-06-25
复审日期:  2004-10-14
什么是归口单位? 归口单位:  全国半导体材料和设备标准化技术委员会
主管部门:  国家标准化管理委员会
起草单位:  电子部741厂
页数:  5页
出版社:  中国标准出版社
出版日期:  1988-01-02
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