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| 英文名称： |
Magnetron sputtering silicon targets and bound targets |
| 标准状态： |
已废止 |
 替代情况： |
公告：中国标准化协会关于废止《液化石油气瓶消防安全节能阀》等187项中国标准化协会标准的通知 |
| 中标分类： |
电子元器件与信息技术>>电子元件>>L19磁性元器件 |
| ICS分类： |
电气工程>>29.045半导体材料 |
| 发布部门： |
中国标准化协会 |
| 发布日期： |
2018-05-29 |
| 实施日期： |
2018-05-29
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| 作废日期： |
2025-07-01
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| 提出单位： |
中国标准化协会 |
| 归口单位： |
中国标准化协会 |
| 起草单位： |
青岛蓝光晶科新材料有限公司、大工(青岛)新能源材料技术研究院有限公司、河北东同光电科技有限公司、大连理工大学 |
| 起草人： |
张磊、姜大川、崔娜、李鹏廷、谭毅、顾正、石爽、康明生、朱辉、郄奕、张卫、姚玉杰、陈良杰、李云飞、王登科 |