三氯氢硅还原法多晶硅生产安全技术规范 |
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标准编号:T/CCSAS 052-2025 |
标准状态:现行 |
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标准价格:49.0 元 |
客户评分:     |
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本文件界定了采用三氯氢硅(TCS)还原法生产多品硅的术语和定义,规定了企业从设计到生产过程的安全技术基本要求,包括设计与总图布局中的安全要求、生产过程的安全要求。
本文件适用于采用三氯氢硅还原法工艺技术生产多品硅的企业。采用其他工艺技术生产多品硅的企业可参照执行。 |
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英文名称: |
Safety technical specifications for polysilicon production by trichlorosilane reduction method |
ICS分类: |
环保、保健与安全>>13.100职业安全、工业卫生 |
发布部门: |
中国化学品安全协会 |
发布日期: |
2025-03-03 |
实施日期: |
2025-03-03
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提出单位: |
中国化学品安全协会 |
归口单位: |
中国化学品安全协会 |
起草单位: |
中国氟硅有机材料工业协会、中国化学品安全协会、四川永祥股份有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、新疆大全新能源股份有限公司、合盛硅业股份有限公司、同轨科技成都有限公司、华陆工程科技有限责任公司、洛阳中硅高科技有限公司、四川晨光工程设计院有限公司 |
起草人: |
李斌、兰云、杨武明、罗周、王世棋、郑东昊、程长进、韩洪流、王路、李超、朱文刚、刘继三、贾敏、程渝峰、严大洲、陈宏愿 |
出版社: |
中国标准出版社 |
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