集成电路扩散设备用石英外管 |
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| 标准编号：T/CEMIA 043-2024 |
标准状态：现行 |
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| 标准价格：38.0 元 |
客户评分：  |
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本文件规定了集成电路扩散设备用石英外管的术语和定义、分类和标记、材料、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存。
本文件适用于集成电路制造工艺用12英寸及以下的集成电路扩散设备用石英外管产品。 |
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| 英文名称： |
Quartz outer tubes for integrated circuit diffusion equipment |
 中标分类： |
建材>>陶瓷、玻璃>>Q35石英玻璃 |
| ICS分类： |
玻璃和陶瓷工业>>玻璃>>81.040.30玻璃产品 |
| 发布部门： |
中国电子材料行业协会 |
| 发布日期： |
2024-11-05 |
| 实施日期： |
2025-01-15
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| 提出单位： |
中国电子材料行业协会 |
| 归口单位： |
中国电子材料行业协会 |
| 起草单位： |
浙江富乐德石英科技有限公司、中国建筑材料科学研究总院有限公司、中国国检测试控股集团股份有限公司、江苏太平洋石英股份有限公司、久智光电子材料科技有限公司、浙江富同石英新材料有限公司、上海强华实业股份有限公司、辽宁汉京半导体材料有限公司等 |
| 起草人： |
杨军、汪俊、张甲宏、郑明山、黄书君、王慧、钱卫刚、秦卫光、叶国闽、宋贤、高君、李来斌、周文华、蓝呈、张娟、张忠恕、盛文彬、沈根法、孔凡昌、汤芳、卫令中 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
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