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英文名称: |
Annealed monocrystalline silicon wafers |
替代情况: |
替代GB/T 26069-2010 |
中标分类: |
冶金>>半金属与半导体材料>>H82元素半导体材料 |
ICS分类: |
电气工程>>29.045半导体材料 |
发布部门: |
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 |
发布日期: |
2022-03-09 |
实施日期: |
2022-10-01
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提出单位: |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2) |
归口单位: |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2) |
起草单位: |
有研半导体硅材料股份公司、山东有研半导体材料有限公司、浙江众晶电子有限公司、洛阳鸿泰半导体有限公司、开化县检验检测研究院、浙江中晶科技股份有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、浙江海纳半导体有限公司、中环领先半导体材料有限公司 |
起草人: |
孙燕、宁永铎、楼春兰、陈锋、黄笑容、王振国、张海英、潘金平、由佰玲 |
页数: |
12页 |
出版社: |
中国标准出版社 |
出版日期: |
2022-03-01 |