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英文名称: |
Hydrogen peroxide for intergrated circuits |
中标分类: |
化工>>化学试剂>>G64高纯试剂、高纯物质 |
ICS分类: |
化工技术>>无机化学>>71.060.20氧化物 |
发布部门: |
中关村集成电路材料产业技术创新联盟 |
发布日期: |
2019-04-17 |
实施日期: |
2019-10-10
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提出单位: |
集成电路材料产业技术创新联盟(ICMtia) |
归口单位: |
集成电路材料产业技术创新联盟(ICMtia) |
起草单位: |
苏州晶瑞化学股份有限公司、同济大学、北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司、中芯国际集成电路制造(北京)有限公司、黎明化工研究设计院有限责任公司 |
起草人: |
刘兵、钱森林、王洪华、傅华、高小云、康劲、葛军、赵健、柴春玲、赵晓东、张惠平 |
页数: |
24页 |
出版社: |
中国标准出版社 |
出版日期: |
2021-08-01 |
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