谐波保护器 |
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| 标准编号：SJ/T 11776-2021 |
标准状态：现行 |
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| 标准价格：0.0 元 |
客户评分：  |
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本标准规定了半导体材料多线切割机的术语和定义、产品分类和规格、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。本标准适用于切割单晶硅、多晶硅、锗以及蓝宝石等各种硬脆性半导体材料的多线切割机。本标准适用于以压缩空气为工作介质的真空发生器，根据喷管种类可分为压力型和流量型。 |
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| 发布部门： |
中华人民共和国工业和信息化部 |
| 发布日期： |
2021-03-05 |
| 实施日期： |
2021-06-01
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