膜厚监控用石英晶振片 |
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| 标准编号：T/CEMIA 006-2018 |
标准状态：现行 |
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| 标准价格：16.0 元 |
客户评分：  |
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本标准规定了膜厚监控用石英晶振片的产品分类、技术要求、试验和测量方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存的要求。
本标准适用于半导体、LED、OLED、激光红外、光学镜片器材等行业镀膜用膜厚监控用石英晶振片。 |
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| 英文名称： |
Quartz crystal resonator for film thickness contro |
 中标分类： |
电子元器件与信息技术>>电子元件>>L21石英晶体、压电元件 |
| ICS分类： |
电子学>>31.140压电器件和介质器件 |
| 发布部门： |
中国电子材料行业协会 |
| 发布日期： |
2018-12-14 |
| 实施日期： |
2019-03-14
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| 提出单位： |
中国电子材料行业协会 |
| 归口单位： |
中国电子材料行业协会 |
| 起草单位： |
唐山万士和电子有限公司、武汉海创电子股份有限公司、唐山国芯晶源电子有限公司、北京晨晶电子有限公司、江苏省东海硅产业科技创新中心 |
| 起草人： |
王丽娟、毛晶、张立强、宫桂英、李健德、李剑、李洁、陈中康、张翔 |
| 页数： |
12页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
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