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| 英文名称： |
General specifications of clean-room robot |
 中标分类： |
机械>>通用零部件>>J28自动化物流装置 |
| ICS分类： |
机械制造>>工业自动化系统>>25.040.40工业过程的测量与控制 |
| 发布部门： |
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2019-05-10 |
| 实施日期： |
2019-12-01
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| 提出单位： |
中国机械工业联合会 |
| 归口单位： |
全国自动化系统与集成标准化技术委员会(SAC/TC 159) |
| 起草单位： |
沈阳新松机器人自动化股份有限公司、北京机械工业自动化研究所有限公司、中国科学院沈阳自动化研究所、东北大学、大连理工大学、沈阳芯源微电子设备有限公司、中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司、北京锐洁机器人科技有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 起草人： |
徐方、邹风山、尹作重、李志海、王金涛、唐忠华、谭学科、边弘晔、张锋、秦修功、吴成东、丛明、洪旭东、刘在行 |
| 页数： |
16页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 出版日期： |
2019-04-01 |