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纳米技术 原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法

国家标准
标准编号:GB/T 36969-2018 标准状态:现行
标准价格:29.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了使用原子力显微术(AFM)测量纳米薄膜厚度的原理、测试条件、设备、样品、测试步骤和数据处理。本标准适用于表面均匀、平整的纳米范围厚度的无机材料薄膜。较厚的和一些有机薄膜的膜厚测定也可参照执行。
英文名称:  Nanotechnology—Method for the measurement of the nanofilm-thickness by atomic force microscopy
什么是中标分类? 中标分类:  机械>>机械综合>>J04基础标准与通用方法
什么是ICS分类?  ICS分类:  计量学和测量、物理现象>>长度和角度测量>>17.040.20表面特征
发布部门:  国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期:  2018-12-28
实施日期:  2018-12-28
提出单位:  全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC 279)
什么是归口单位? 归口单位:  全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC 279)
起草单位:  上海交通大学、纳米技术及应用国家工程研究中心
起草人:  李慧琴、金承钰、梁齐、何丹农、韦菲菲
页数:  12页
出版社:  中国标准出版社
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