硅通孔几何测量术语 |
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| 标准编号：SJ/T 11707-2018 |
标准状态：现行 |
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| 标准价格：0.0 元 |
客户评分：  |
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本标准规定了硅通孔尺寸的几何测量术语和定义。
本标准适用于硅通孔尺寸的几何测量，其中硅通孔可完全贯穿硅晶圆，也可部分贯穿硅晶圆；硅通孔内可含有金属导体及其他介质，也可不包含金属导体及其他介质。 |
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| 发布部门： |
中华人民共和国工业和信息化部 |
| 发布日期： |
2018-02-09 |
| 实施日期： |
2018-04-01
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