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英文名称: |
Vacuum technology—Magnetic levitated turbomolecular pump |
中标分类: |
机械>>通用机械与设备>>J78真空技术与设备 |
ICS分类: |
流体系统和通用件>>23.160真空技术 |
发布部门: |
中华人民共和国工业和信息化部 |
发布日期: |
2016-01-15 |
实施日期: |
2016-06-01
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提出单位: |
中国机械工业联合会 |
归口单位: |
全国真空技术标准化技术委员会(SAC/TC 18) |
主管部门: |
全国真空技术标准化技术委员会(SAC/TC 18) |
起草单位: |
北京中科科仪股份有限公司、合肥智海光电技术有限公司、川北真空科技(北京)有限公司、东莞劲胜精密组件股份有限公司、沈阳真空技术研究所 |
起草人: |
朱国精、邹蒙、李奇志、刘磊、胡眉等 |
批文号: |
53529-2016 |
出版社: |
机械工业出版社 |
出版日期: |
2016-06-01 |
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