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| 英文名称： |
Determination of other chlorosilane in trichlorosilane for silicon eqitaxy—Gas chromatographic method |
 中标分类： |
冶金>>金属化学分析方法>>H17半金属及半导体材料分析方法 |
| ICS分类： |
冶金>>金属材料试验>>77.040.30金属材料化学分析 |
| 发布部门： |
中华人民共和国工业和信息化部 |
| 发布日期： |
2015-04-30 |
| 实施日期： |
2015-10-01
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| 提出单位： |
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243) |
| 归口单位： |
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243) |
| 主管部门： |
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243) |
| 起草单位： |
中锗科技有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、昆明冶研新材料股份有限公司 |
| 起草人： |
刘新军、刘英杰、郑华荣、柯尊斌、赵建为、孔令群、伍永胜、张云晖、杨红燕 |
| 页数： |
12页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 出版日期： |
2015-10-01 |