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电子工业用气体 氯化氢

国家标准
标准编号:GB/T 14602-2014 标准状态:现行
标准价格:29.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了氯化氢的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运及安全。
本标准适用于以工业氯化氢为原料,采用纯化制得的氯化氢产品。该产品主要用于微电子工业中气相抛光、外延和刻蚀工艺,也可用于硬质合金、玻璃表面处理、医药中间体和精细化学品制造、科学研究等领域。
分子式:HCl。
相对分子质量:36.458(按2009年国际相对原子质量计算)。
英文名称:  Gases for electronic industry—Hydrogen chloride
什么是替代情况? 替代情况:  替代GB/T 14602-1993;GB/T 24469-2009
什么是中标分类? 中标分类:  化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体
什么是ICS分类?  ICS分类:  化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体
发布部门:  中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期:  2014-12-22
实施日期:  2015-07-01
提出单位:  全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)
什么是归口单位? 归口单位:  全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)
起草单位:  北京华宇同方化工科技开发有限公司、西南化工研究设计院有限公司、佛山市华特气体有限公司、光明化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海仪盟科技有限公司
起草人:  张吉瑞、孙福楠、杜汉盛、方华、周鹏云、杨任
页数:  12页
出版社:  中国标准出版社
出版日期:  2015-07-01
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前言
本标准按照 GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准代替 GB/T14602—1993《电子工业用气体 氯化氢》、GB/T24469—2009《电子工业用气体 5N氯化氢》。与 GB/T14602—1993、GB/T24469—2009相比,除编辑性修改外主要技术变化如下:
———修改了范围(见第1章,1993年版的第1章、GB/T24469—2009的第1章);
———修改了规范性引用文件(见第2章,1993年版的第2章、GB/T24469—2009的第2章);
———修改了技术要求(见第3章,1993年版的第3章、GB/T24469—2009的第3章);
———修改了抽样、判定(见4.1,1993年版的第5章、GB/T24469—2009的第5章);
———修改了氧+ 氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、烃含量的测定方法(见 4.3,1993 年版的 4.2、4.3、GB/T24469—2009的4.3、4.5);
———删除了氢含量的测定方法(见1993年版的4.5);
———修改了水分含量的测定方法(见4.4,1993年版的4.4、GB/T24469—2009的4.4);
———修改了金属元素含量的测定方法(见4.5,GB/T24469—2009的4.6);
———修改了标志、包装、贮运及安全(见第5章,1993年版的第6章、第7章、GB/T24469—2009的第6章、第7章、第8章)。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。
本标准起草单位:北京华宇同方化工科技开发有限公司、西南化工研究设计院有限公司、佛山市华特气体有限公司、光明化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海仪盟科技有限公司。
本标准主要起草人:张吉瑞、孙福楠、杜汉盛、方华、周鹏云、杨任。
本标准所代替标准的历次版本发布情况为:
———GB/T14602—1993、GB/T24469—2009。
引用标准
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