电子级水中微粒的仪器测试方法 |
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标准编号:GB/T 11446.9-2013 |
标准状态:现行 |
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标准价格:24.0 元 |
客户评分: |
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GB/T11446的本部分规定了电子级水中微粒的仪器测定方法。
本部分适用于电子级水中微粒的连续式或单次检测计数,测定的微粒粒径不小于0.05μm,微粒的浓度范围为0~10000个/mL。 |
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英文名称: |
Test method for particles in electronic grade water by instrument |
替代情况: |
替代GB/T 11446.9-1997 |
中标分类: |
电子元器件与信息技术>>电子设备专用材料、零件、结构件>>L90电子技术专用材料 |
ICS分类: |
31-030 |
发布部门: |
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
发布日期: |
2013-12-31 |
实施日期: |
2014-08-15
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提出单位: |
中华人民共和国工业和信息化部 |
归口单位: |
中国电子技术标准化研究院 |
主管部门: |
中国电子技术标准化研究院 |
起草单位: |
信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国科学院半导体研究所、中国电子技术标准化研究院、中国电子科技集团公司第四十六研究所 |
起草人: |
王奕、褚连青、何秀坤、段曙光、提刘旺、刘筠 |
页数: |
8页 |
出版社: |
中国标准出版社 |
出版日期: |
2014-08-15 |
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GB/T11446预计结构如下:
———GB/T11446.1 电子级水;
———GB/T11446.2 (待定);
———GB/T11446.3 电子级水测试方法通则;
———GB/T11446.4 电子级水电阻率的测试方法;
———GB/T11446.5 电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法;
———GB/T11446.6 电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法;
———GB/T11446.7 电子级水中痕量阴离子的离子色谱测试方法;
———GB/T11446.8 电子级水中总有机碳的测试方法;
———GB/T11446.9 电子级水中微粒的仪器测试方法;
———GB/T11446.10 电子级水中细菌总数的滤膜培养测试方法。
本部分为GB/T11446的第9部分。
本部分按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本部分代替GB/T11446.9—1997《电子级水中微粒的仪器测试方法》。
本部分与GB/T11446.9—1997相比,主要有下列变化:
———重新对“3.1微粒”进行了定义(见第3章);
———增加了“5干扰因素”(见第5章);
———删除了“11注意事项”(见1997年版的第11章);
———修订了Pi 的定义。
本部分由中华人民共和国工业和信息化部提出。
本部分由中国电子技术标准化研究院归口。
本部分起草单位:信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国科学院半导体研究所、中国电子技术标准化研究院、中国电子科技集团公司第四十六研究所。
本部分主要起草人:王奕、褚连青、何秀坤、段曙光、提刘旺、刘筠。
本部分所代替标准的历次版本发布情况为:
———GB/T11446.9—1989、GB/T11446.9—1997。 |
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GB/T11446.1—2013 电子级水
GB/T11446.3—2013 电子级水测试方法通则 |
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