| 1 |
XH-KDY-1BS 型四探针电阻率测试仪
|
| |
1、 配有双数字表： 一块数字表在测量显示硅片电阻率的同时，另一块数字表（以万分之几的精度）适时监测全过程中的电流变化，使操作更简便，测量更精确。
数字电压表量程：0—199.99mV
灵敏度：10μV
输入阻抗：1000ΜΩ
基本误差±(0.04-0.05%读数+0.01%满度)
2、
可测电阻率范围：10—4 —1.9×104Ω•cm
可测方块电阻范围：10—3 —1.9×105Ω/□。
3、 设有电压表自动复零功能，当四探针头1、4 探针间未有测量电流流过时，电压表指零，只有1、4 探针接触到硅片，测量电流渡过单晶时，电压表才指示2、3 探针间的电压（即电阻率）值，避免空间杂散电波对测量的干扰。
4、 流经硅料的测量电流由高度稳定（万分之五精度）的特制恒流源提供，不受气候条件的影响，整机测量精度＜3%。电流量程分五档：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA。
5、 仪器采用触点电阻更低（＜5mΩ）、使用寿命更长的转换开头及继电器（＞10 万次），在绝缘电阻、电流容量方面留有更大的安全系数，提高了测试仪的可靠性和使用寿命。
6、 加配软件配电脑使用，实现自动换向测量、求平均值，计算并打印电阻率最大值、最小值、最大百分变化率、平均百分变化率等内容。
7、 四探针头采用国际上先进的红宝石轴套导向结构，使探针的游移率减小，测量重复性提高（国家知识产权局已于2005.02.02 授予专利权，专利号：ZL03274755.1）。
|
| |
|
|
|
|
|
|
